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蘇州工業園区匯光科技有限公司
>製品>12インチ大作業プラットフォーム半導体/FPD検査顕微鏡
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12インチ大作業プラットフォーム半導体/FPD検査顕微鏡
新しい12インチ大作業プラットフォーム半導体/FPD検査顕微鏡は、最大300 mmウェハと17インチ液晶パネルの検査をサポートし、4、6、8、12インチの多種のターンテーブルを含み、異なるサイズのウェハ検査を適用することができる。人間工学設計が全面的に向上し、ユーザーにより快適で柔軟で迅速な操作体験
製品の詳細

12インチ大作業プラットフォーム半導体/FPD検査顕微鏡はユーザーに効率的な半導体/FPD光学検出ソリューションを提供する


半导体/FPD检查显微镜


仰角可調観察筒

0-35°の観察角度は調整可能で、異なる身長のユーザーに適して、仕事環境に対する要求を下げて、異なるユーザーに良い観察角度を見つけることができて、長時間の仕事による不快感と疲労を軽減して、仕事の効率を大幅に高める。


观察筒


新規クラッチ駆動式ステージ

MX 12 Rはクラッチ式ハンドルを採用し、ユーザーはクラッチレンチを押すとプラットフォームを柔軟に移動でき、ハンドルを長時間握る必要がない、クラッチボタンを押して、高速移動をキャンセルします。長時間の操作で手が痺れる現象を回避し、観察速度を速める。MX 12 Rは精密レール伝動機構を導入し、移動がより軽く、よりスムーズで、製品がより安定し、信頼性が高い。


载物台手柄


安全で高速な電動式対物レンズ変換器

前進、後退の2段階切替モードが設けられ、必要な観察倍率まで迅速、正確に位置決めでき、繰り返し位置決め精度が高い。機械式の切り替えモードは、変換器の寿命を効果的に向上させた。


物镜转换器


キーを押すと手に触れることができ、生産性の向上に役立ちます

MX 12 R対物レンズと開口絞りは新しい電動制御システムを採用し、その操作ボタンは計器の真正面に位置し、手に触れることができる。人間的な電動設計により、頻繁な手動操作手順を回避するだけでなく、検出作業もより正確で柔軟になります。

防振ブラケットの設計

本体は六端ブラケットで支持され、低重心、高安定性の全金属フレームは、優れた耐震機能を備え、像質の安定を確保している。


防震支架


内蔵型フレキシブル搬送装置

MX 12 Rボディは全金属素材を採用しており、安定性に優れています。底部の両端には内蔵搬送装置が設けられており、搬送時には、ユーザは内蔵搬送ハンドルを回転してねじ出し、逆にねじ込むだけで、頑丈な搬送装置を形成することができる。この装置の設定は、機械の重量を均一に分配することができ、2人だけで搬送を完了することができ、搬送中、手がつけられない、移動しにくい、重量分布が均一でない、衝突が発生するなどの多くの問題を効果的に回避することができる。運搬中、機器プラットフォームの移動による損傷を防止するため、機器の安全安定性を確保するためにプラットフォームをロックすることができる。



とうしゃしょうめいき

開口絞りは対物レンズ倍率と自動的に整合し、これ以上手動で調整する必要はなく、より迅速で効率的で、異なる使用者に同じ観察効果を持たせる。

暗視野モードでは、絞りが自動的に開き、使用者の顕微鏡に対する専門技術の要求を減らし、顕微鏡観察を単純化する。


落射照明器


自動化されたアプリケーション要件を満たす

●新しくアップグレードされたMX 12 RMOT、全自動操作モードにより、検査作業をより効率的に行うことができます。

●X/Y/Z三軸電動制御、電動型対物レンズ変換、開口絞り自動整合。

●ソフトウェアまたはハンドルを通じて12インチプラットフォームX、Y、Z軸の動きを制御し、画像接合機能を完成し、完全にグローバル画像の観察、分析を行うことができる。

●独立した操作ハンドルはプラットフォームの移動をより簡単、便利にし、人員の操作ミスなどによるプラットフォームの損傷を回避する。


平台半导体/FPD检查显微镜


豊富な応用分野

MX 12 Rは、明場、暗場、偏光、DICなどの多様な観察機能を集積している。半導体、FPD、回路パッケージ、回路基板、材料、鋳物金属セラミックス部品、精密研削具などの検査。



多様な添付ファイルにより、さまざまな作業環境と観察モードに対応したリアルで鮮明な顕微鏡像を表示できます

国際トップレベルの大視野接眼レンズ

●25 mm幅視野接眼レンズを配置し、従来の22 mmの視野範囲に対して、視野がより平坦で広く、視野の縁が保たれる

証は明瞭で明るく、ユーザーにより快適な視覚感覚を与えます。

・よりフラットな観察範囲を提供し、作業効率を向上させる。より大きな値域屈折度調整範囲は、より多くのユーザーの使用ニーズを満たすことができます。



長距離対物レンズ

●高透過率レンズと先進的なめっき技術を用いて、全セットの専門半復色収差金相対物レンズを配置する。

●長距離設計で、ユーザーが切り替え時に対物レンズとサンプルが衝突することを効果的に回避することができる。20 X長距離対物レンズを配置し、工業検査分野の需要を満たす。

●各レンズは高透過率のレンズと先進的なめっき技術を厳選し、サンプルの自然な色をリアルに還元することができる。



物镜参数.jpg


ノルマルスキー微分干渉ライニング比システム

高性能微分干渉モジュールを用いて、明場観察下では検出できない微細な高低差を、高コントラストの明暗差に変換し、立体レリーフ形式で表現することができ、LCD導電粒子、精密ディスク表面のスクラッチ検出などの分野で広く使用されている。




システム構成図



外形寸法図


12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜外形尺寸


12インチ大作業プラットフォーム半導体/FPD検査顕微鏡技術仕様

MX12R技术规格.jpg


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