1、製品紹介
無酸素クリーントンネル炉は酸素濃度が100 ppmまで低い雰囲気の中で、100級クリーン度を維持することができ、最高加熱温度は300℃の温度に達することができ、そして多温区で製品を焼くことを実現する。精密部品ウエハ、結晶振動アニーリング、エポキシ樹脂硬化などの熱処理に最適です。連続式生産のモデルは、前後のプロセスの自動化設備と連動して、自動化生産を実現することができる。

2、製品特徴
●構造がコンパクトで、敷地面積が小さい
●複数の製品タイプの小ロット生産に最適
●箱体は全アルゴンアーク溶接を用いて持続的な箱体密封性を保証した
●じどうちっそてんかシステム
●HEPA耐高温高効率フィルター搭載でクリーン環境構築
●外部には焼き漆二重箱構造を採用
●タッチスクリーン統合制御

3、オプション機能
●ペーパーレスレコーダ
●485通信またはイーサネット通信
●酸素含有量分析器

4、製品パラメータ