マイクロビッカースダイヤモンド圧子は使用するダイヤモンド圧子の形状が異なるため、

微小硬度にはVickers（Vickers）微小硬度とKnoop（Knoop）微小硬度の2種類がある。

ビッカース微小硬度は対象が130°のダイヤモンド四角錐を圧入ヘッドとし、その値は次式で計算する：

HV＝18.18·P/d2

式中：HV-ビッカース硬度、Mpa；P－荷重、kg；

d−ピット対角線長さ、mm。

ヌープ硬度は、角が170°30’と130°のダイヤモンド四角錐を圧入ヘッドとし、その値は次式で計算する：

HK=139.54·P/L2

式中：HK-ヌープ硬度、Mpa；P－荷重、kg；

L−ピット対角線長さ、mm。