走査型電子顕微鏡−ラマン分光法を併用することにより、サンプルに対して微小領域のその場分析を行い、サンプルに対する系統的な分析テストを実現することができる。走査電子顕微鏡データとラマンスペクトルデータを同一点から収集できることを考慮して、サンプルの表面形態と物質分子構造の関係を迅速かつ直感的に特徴づけることができる。SEM画像を基礎として、より正確にサンプル選択試験領域に対して迅速、無傷の物質成分分析を行い、正確なサンプル組成データを得ることができる。

例1：ミクロン級のリン酸アルミニウム鉱物中のPO 4/SO 4の割合を特徴づけ、その中の複雑な化合物成分の明礬石と繊燐カルシウムアルミニウム石を鑑別する

例2：ウラニル鉱物類の粒子レベルのラマン分光分析を実現する

例3：製造したグラフェン試料中の単層領域と多層領域の鑑別