背景の紹介>>テラヘルツ近接場走査イメージングシステムの原理紹介

テラヘルツ波は光子エネルギーが低いため、非破壊性と非イオン化特性があり、材料検出と非破壊検出に広く応用されている.さらに提案すべきはテラヘルツイメージングであり、特に生物医学におけるイメージングは、人々の注目を集めている。可視光が透過できない場合やX線コントラストが要求に達しない場合、テラヘルツイメージングは良い選択になります。しかし、従来の遠視野テラヘルツイメージングシステムは回折限界によって制限されており、最小ではλ/2しか分解できないスケール、すなわち1 THzに対応する最小分解能は0.15 mmである。ミリメータスケールのイメージング解像度はテラヘルツイメージング技術の応用をある程度制約している。そのため、近接場探査と顕微技術の発展は、より高い解像度を得るために特に重要である。回折限界を打破する、空間分解能を高めるために、Hunscheらはテラヘルツ近接場イメージングシステムを実現し、テラヘルツのドット単位イメージングの分解能をサブ波長レベルに高めた。この仕事はテラヘルツ近接場イメージング技術の性能を新しいレベルに高め、テラヘルツイメージングの研究に新しい道を切り開いた。

テラヘルツ近接場検出の応用分野とその利点

――極高いの空間イメージング分弁別する率であり、THzを携帯する光スペクトルの独自の特性

テラヘルツ研究	フィルム検出	チップパッケージング測定	検出フィルタリング
適用＃テキヨウ＃領域＃レルム＃： •メタマテリアルとプラズマ •受動部品 •放射線源 •アンテナと導波路 •センサ表面 •グラフェン	適用＃テキヨウ＃領域＃レルム＃： •太陽電池 •モニタ •フレキシブルエレクトロニクスデバイス •半導体 •グラフェン •透明導体	適用＃テキヨウ＃領域＃レルム＃： •時間分解反射測定 •フェイルセーフ •包装検査 •3 D統合 •シリコンスルーホール技術（TSV）	適用＃テキヨウ＃領域＃レルム＃： •レーザープラスチック溶接検査 •ポリマー繊維ファイバ •チップ充填不足検出 •有機層スクリーニング
Tera-Cubeの利点： •近場での金欲 •計算されたテラヘルツ時間領域分光計のシステム拡張 •高感度 •低ノイズ •偏光感受性 •ブロードバンド性	Tera-Cube優点： •薄膜抵抗イメージング •非接触測定 •ミクロンサイズの分解能 •大面積スキャン •高速スキャンイメージング	Tera-Cube優点： •市場をリードするTDRソリューション •サブピコ秒の立ち上がり時間 •非接触 •非破壊プローブ	Tera-Cube優点： •非接触型非破壊プローブ •迅速な検出 •可視光/赤外線不透明プラスチックの選別 •ミクロンスケール構造の検出

製品の概要

そびえ立つ光電が発売したTHz-Cubeテラヘルツ近接場走査イメージングシステムは、波長分解能の限界を突破し、空間イメージング分解能を3 umに高めることができる。THz−Cubeは自動化されたテラヘルツ近接場走査システムである。光電が発売する標準的な近接場スキャンシステムは、お客様自身のフェムト秒光源を使用して駆動することもでき、フェムト秒光源に対して次のように要求することができます。

中心波長：770 nm ... 820 nm
繰り返し頻度：10 MHz ... 1 GHz
平均電力：60 mW ... 1.5 W
パルス幅：<150 fs

Tera-Cube

テラヘルツ近接場走査原理

時間領域スペクトル&スペクトルデータ

製品の特徴

——高速連続スキャン、データ収集、

――光学形態探査により、サンプルの横走査時にプローブとサンプルの表面距離を一致させることができる、

――高ダイナミックレンジ位相同期検出

――直線偏光カット回転可能なテラヘルツエミッタは、偏光状態の独立測定が可能

――CCDカメラモジュールを集積し、プローブヘッドとサンプル位置を制御する

――制御ソフトウェアはサンプルとプローブの距離を自動的に制御調整し、データ収集と分析を行うことができる

サンプルテスト

Example plots of the THz near-field distribution measured at a metamaterial surface for sensing applicationswhich is locally loaded with sample material. Left: Peak excitation state, right: 2 ps after excitation.