・メサは三層サンドイッチハニカム状支持構造であり、Icr 17高導磁ステンレス鋼を採用する

・防振材に精密型専門減衰ダンパーと国家標準級減衰防振パッドを採用

・固有周波数は最小3 Hzに達し、制振性能が強い

・お客様のニーズに合わせて異型をカスタマイズ可能（Lフォント、Tフォント、V字型など）精密光学プラットフォーム

・平面度が0.05 mm/以下㎡

・表面粗さが0.8 um〜1.6 um未満

・固有周波数3 Hz～6 Hz

・振幅が5 um以下

・繰り返し位置決め精度+0.05mm